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通过正面蚀刻制造新型微机械红外热电堆探测器
一、正面腐蚀方法制作新型微机械红外热堆探测器(论文文献综述)张绍达[1](2019)在《一种小型MEMS非色散红外光谱仪及其应用研究》文中研究表明红外光谱仪是利用物质对不同波长...