磁控溅射论文

激光分子束外延及其在ZnO薄膜制备中的应用

一、激光分子束外延技术及其在氧化锌薄膜制备中的应用（论文文献综述）刘永[1]（2021）在《共溅射沉积MgZnO合金薄膜及其光电性质研究》文中提出氧化锌作为第三代半导体材料,以...