一、硬脆材料专用ELID磨削液的研制（论文文献综述）
关佳亮,张龙月,杨洋,刘书君[1]（2020）在《铝基复合材料专用ELID磨削液的开发》文中研究说明铝基复合材料加工过程中铝基体易软化涂抹产生积屑瘤,存在砂轮严重堵塞、刀具磨损严重、加工表面质量低和加工精度低等加工难题。在研发的已有塑性材料和硬脆材料ELID磨削液基础上,根据铝基复合材料的机械加工性能,开发适合铝基复合材料磨削特点的专用ELID磨削液,既能使金属结合结砂轮中的金属和粘附在砂轮表面的铝基磨屑电解去除达到修锐砂轮的作用,又能在被加工铝基材料表面上形成一层抗腐蚀氧化膜减少划伤,减小其残余加工应力,提高其加工质量和加工精度,实现铝基复合材料的精密磨削加工。实验结果证明:采用该磨削液磨削体积分数60%的铝基碳化硅复合材料,表面粗糙度Ra可达0.098μm,比采用普通磨削液的粗糙度减小了0.016μm。
罗晔[2]（2020）在《蓝宝石ELID磨削工艺实验研究》文中研究指明随着科技发展,人们对材料的性能的要求越来越高,蓝宝石以其优异的光学、机械和物理性能被广泛应用于航空航天、光学、电子及其它工业领域。蓝宝石硬度高、脆性大,加工难度大,传统的磨削加工不但加工时刀具磨损大,加工时间长,制造成本很高,而且远远达不到加工质量的要求。此外,游离或固结磨料研磨效率低,易出现加工缺陷,为了解决这一系列的问题本文引入了在线电解修整技术（ELID）。采用ELID磨削技术将大大减少加工时间,降低加工成本,且砂轮磨削过程中由于电解作用,砂轮表面会生成一层柔性氧化膜,加工过程中起到研磨抛光的作用,提高加工的表面质量。为了提高蓝宝石ELID磨削质量,深入揭示表面形成机制与材料去除机理,本文对ELID预修锐氧化膜的成膜和ELID磨削蓝宝石的工艺参数进行分析和优化,选出最佳的参数组合,并通过ELID磨削实验分析蓝宝石A向与C向的磨削特性差异。具体的研究工作如下:1、通过分析电解过程,根据公式推导出氧化膜成膜因素与时间的数学模型,探究影响氧化膜性能的因素,设计电解因素正交试验,从预修锐时间、氧化膜的厚度、粘附力和孔隙率四方面分析考虑,获得预修锐过程最佳的电解参数。2、在预修锐实验的优化结果的基础之上,进行了蓝宝石ELID磨削实验,通过对各个电解磨削实验组磨削加工之后表面粗糙度、磨削力、表面破碎率进行极差分析,并分析其影响趋势以及显着效果,通过对比分析磨削加工之后的表面形貌,亚表面损伤,得到优化后的工艺参数,其表面粗糙度Ra为0.069μm。3、分析蓝宝石晶体结构,分别对蓝宝石的A面、C面分别进行ELID磨削和普通磨削,对磨削力、工件表面粗糙度、工件表面表面形貌和工件亚表面损伤进行检测,对比ELID磨削与普通磨削的差别,分析蓝宝石A向与C向的磨削特性差异。
欧阳志勇[3]（2019）在《碳纳米管对多层钎焊砂轮电解修整磨削性能的影响研究》文中研究表明本文主要针对多层钎焊砂轮电解修整氧化膜疏松、厚度较薄以及成膜效率低等问题,提出和配制了一种含碳纳米管（Carbon Nanotubos,CNTs）电解磨削液。系统研究了CNTs对电解磨削液成膜性能的影响,获得了最优成膜性能的CNTs浓度配方;并通过超细晶硬质合金的在线电解修整（Electrolytic In-process Dressing,ELID）磨削实验,对比分析了含CNTs磨削液与无CNTs磨削液对多层钎焊砂轮电解磨削性能的影响。本文的主要工作和创新点如下:1、为了分析CNTs对多层钎焊砂轮的电泳沉积性能,以悬浮稳定性优良的CNTs电泳液开展了动态电泳沉积实验,在0.3 mm极间间隙和90 V脉冲电压作用下,多层钎焊砂轮表面生成的电泳沉积膜表面平整,CNTs呈丝织状分布于铜基钎焊砂轮表面。2、以均匀、稳定分散的CNTs悬浮液作为基液,配制了新型含CNTs的ELID磨削液。预修锐实验发现:含CNTs电解氧化膜是由CNTs电泳沉积和砂轮结合剂电解共同作用形成的。随着CNTs浓度的增加,电解平衡电流值和电解氧化膜厚度增大;氧化膜粘附强度随着CNTs浓度的增大呈先增大后减小趋势;在获得适当的氧化膜厚度、较好的致密性以及粘附性的前提下,以含1.2 g/L CNTs的磨削液作为成膜性能较优的电解液配方。3、采用含CNTs磨削液和无CNTs磨削液对超细晶硬质合金进行了磨削实验。实验结果表明:CNTs作为一种氧化膜增强材料,通过电泳沉积作用,均匀分布于电解氧化膜中,有效增强多层钎焊砂轮电解氧化膜的成膜质量,氧化膜的弹性减震抗压性能与研磨抛光作用机制得到改善,降低了超细晶硬质合金ELID磨削过程中的磨削力,提高了磨削加工表面质量。
王志强[4]（2019）在《基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削机理》文中认为高精密轴承在航空航天发动机、高精密机床、高速铁路以及高精密仪器仪表中起着重要的作用。轴承套圈沟道是轴承的工作面,沟道的形状精度和表面质量影响轴承的精度、振动、寿命等性能。目前轴承外圈沟道的加工工艺主要包括沟道成形磨削和油石超精研。然而成形磨削过程中砂轮容易堵塞、修锐困难。轴承沟道超精研主要用于去除沟道磨的变质层和改善工件表面形貌,对形位精度不敏感等问题,严重制约高精密轴承的加工制造。针对多品种、小批量的高精密轴承套圈加工,提出了基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削新工艺,解决了砂轮易堵塞和修锐困难的问题,缩减了轴承套圈加工工序,实现了轴承沟道的精密加工。本文以轴承外圈为研究对象,研究基于工件阴极的ELID成形磨削过程中氧化膜的生成和状态、氧化膜状态对磨削表面质量的影响、磨削表面创成机理以及磨削工艺参数优化。氧化膜是ELID磨削实现精密超精密加工的重要影响因素。然而基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削过程中氧化膜的状态（厚度和致密性）难以测量。通过测量基于工件阴极的直线沟道ELID成形磨削过程中砂轮样块表面的氧化膜状态,揭示了基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削氧化膜的状态以及氧化膜状态对磨削质量的影响。采用控制电流对氧化膜的状态进行表征,通过基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削试验,揭示了磨削过程中磨削参数（砂轮转速、工件转速、径向进给速度）和氧化膜状态对磨削力、表面粗糙度、波纹度的影响规律,探明了基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削加工机理。轴承外圈沟道ELID成形磨削过程中不仅存在金属材料的塑性测流,同时也有氧化膜的弹性变形。本文建立了基于塑性测流和氧化膜弹性变形的ELID成形磨削表面粗糙度新模型,并对表面粗糙度的模型进行了试验验证。试验结果表明:此模型相比于理论模型和经验模型精度更高,通用性更好。为了获得更好的磨削表面质量,通过正交试验和极差分析方法对基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削的工艺参数进行优化,获得最佳磨削参数组合。优化后磨削工件表面粗糙度达Ra到了 0.04μm,波纹度Wa达到了 0.04μm。本文的研究成果不仅对ELID磨削加工理论具有重要的科学价值,同时也拓展了轴承套圈沟道的加工工艺,提高了轴承套圈沟道已加工表面质量,对我国高精度轴承的发展具有重要的理论意义和实用价值。
江澄冉[5]（2018）在《CoCrMo合金ELID磨削及其耐磨耐腐蚀性研究》文中研究表明CoCrMo合金具有良好的耐腐蚀性能、杰出的生物相容性以及良好的理化性质,作为医用植入材料已被广泛应用。本文将ELID磨削技术应用到CoCrMo合金磨削加工中,并对其磨削机理、磨削力和表面质量变化规律、摩擦磨损性能以及耐腐蚀性能进行了研究,便于深入了解CoCrMo合金的磨削加工性能。本文主要从以下几个方面展开研究:首先本文分析了在线电解修整（Electrolytic In-process Dressing,简称ELID）磨削砂轮氧化膜的作用与形成机理,从理论上明确了砂轮表面氧化膜的组成成分,进一步提出由氧化膜和磨粒组成的复合磨粒的形成模型;其次对磨粒周围的氧化膜的成分、形状、粒度、覆盖包裹情况进行了实验研究,对复合磨粒的形成机理进行了研究。紧接着对CoCrMo合金ELID磨削力进行了理论分析和实验研究,试验结果表明无论是法向力还是切向力,磨削力都随着磨削深度、工件速度的增大而增大,随着砂轮粒度的增大而减小,试验结果与理论研究相符合。随后在CoCrMo合金ELID磨削条件下,对不同的砂轮粒度、工件速度、磨削深度条件的加工表面进行粗糙度测量及分析,并使用超景深三维显微镜观测了其表面微观形貌,测量了CoCrMo合金在不同参数下的磨损量和摩擦系数,并分析了其摩擦磨损性能。最后对CoCrMo合金ELID磨削后的耐腐蚀性能进行了研究,ELID磨削后CoCrMo合金表层形成了钝化层,XRD、SEM电镜分析结果显示CoCrMo合金表层含有氧元素,形成了各种氧化物。因此具有更好的耐腐蚀性和生物相容性。
关佳亮,孙晓楠,路文文,戚泽海[6]（2017）在《轴承钢专用ELID磨削液的开发》文中研究表明针对轴承生产加工时磨屑不易排除导致砂轮黏附率大造成工件烧伤的难题,采用在线电解修整（ELID）磨削技术,在磨削过程中电解磨削液能够通过对砂轮表面阳极溶解的电解作用实现在线电解修锐及磨屑电解去除,从而达到良好的磨削状态,以对轴承钢进行精密、超精密磨削加工。结合已有ELID磨削液的开发经验,研制出更适合轴承钢磨削特点的专用磨削液。试验证明:采用HDMY-30磨削液磨削轴承钢,表面粗糙度Ra可达0.011μm,比采用原有磨削液磨削轴承钢的Ra降低了0.005μm。
伍俏平,王煜,瞿为,邓朝晖[7]（2017）在《在线电解修整磨削液研究现状及其展望》文中提出在线电解修整（electrolytic in-process dressing,ELID）镜面磨削过程中,磨削液的成份及配比对砂轮表面氧化膜的生成速度、致密性、黏附性以及绝缘性等都有着很大的影响,磨削液的配比及优化成为ELID磨削过程中的关键技术之一。主要介绍了ELID磨削液的成分配比、磨削液对氧化膜的影响以及ELID磨削液改进这几个方面的研究进展,并对ELID磨削液下一步的研究重点进行了展望。
邵水军[8]（2016）在《纳米陶瓷超声ELID复合磨削加工机理及其表面质量研究》文中研究说明纳米陶瓷材料具有高强度、耐高温、耐磨损、化学稳定性好等诸多优点,在航空航天、材料工程以及机械工程等领域得到很多应用。同时,纳米陶瓷材料具有弹性模量高、断裂韧性低等特点,很难实现精密、高效加工,这也成为其广泛应用的瓶颈。目前,纳米陶瓷等硬脆材料高效镜面加工中技术相对比较成熟、应用范围较广的是超声振动磨削和ELID磨削。本文将对纳米陶瓷工件施加超声振动与ELID磨削相复合进行加工,分析两种磨削加工方式相复合的稳定性和相关性,研究复合磨削加工的材料去除机理、表面创成机理、磨削力变化规律以及表面微观质量,揭示纳米陶瓷材料超声ELID复合磨削高效超精密加工机理,为硬脆材料高效镜面加工技术改进和提升提供支撑。主要研究内容包括:首先,搭建纳米陶瓷超声ELID复合平面磨削试验研究平台。根据超声振动磨削、ELID磨削的加工机理,依托精密平面磨床,采用自行研制的超声振动试验工装,使用平面ELID磨削装置,实现超声ELID复合平面磨削试验研究平台构建。从整体组合的观点对复合磨削系统分析,采用有限元修整的方法,完成声学系统优化设计并进行振动性能测试。其次,研究纳米陶瓷超声ELID复合平面磨削加工氧化膜状态。根据电化学反应原理、超声振动磨削几何参数和单颗磨粒磨削轨迹等理论,建立超声ELID复合平面磨削加工中氧化膜的生成、去除及达到动态平衡情况下的厚度理论模型并进行仿真预测。这里采用信号表征的方式实现超声ELID复合磨削加工氧化膜状态有效控制,根据磨削力、极间电流等氧化膜的表征信号变化情况,分析得出超声振动对ELID磨削过程中氧化膜生成的厚度与强度影响很小,二者为弱相关。接着,分析纳米陶瓷超声ELID复合平面磨削加工材料去除机理、表面创成机理。依据金刚石磨粒压痕塑性去除原理,分析纳米陶瓷超声ELID复合平面磨削加工单颗磨粒临界切削深度、材料脆塑转变临界条件。以纳米陶瓷超声振动平面磨削加工单颗磨粒去除材料体积为基础,考虑ELID磨削的影响,建立复合平面磨削加工材料去除率数学解析模型,进行仿真预测和实验研究,与普通ELID磨削相比,材料去除效率明显提升。从工件材料质点运动轨迹角度分析超声ELID复合平面磨削加工的表面创成机理,通过超声ELID磨削与普通ELID对比试验得出,纳米陶瓷材料超声ELID复合平面磨削可以获得更优的加工表面。然后,研究纳米陶瓷超声ELID复合平面磨削加工的磨削力特性。依据普通磨削加工磨削力数学模型,从切削变形力、摩擦力和超声振动冲击力三个方面对纳米陶瓷超声ELID复合平面磨削加工磨削力进行分析,考虑超声振动和ELID对复合磨削的影响,建立纳米陶瓷超声ELID复合平面磨削加工的磨削力数学解析模型,进行仿真与试验分析,超声振动和ELID的复合作用有助于提升氧化膜的抛光特性,有效降低磨削力,独特的磨削力特性利于实现纳米陶瓷等硬脆材料磨削。最后,分析纳米陶瓷超声ELID复合平面磨削加工的表面微观质量。根据电火花修整的基本原理,对金属结合剂砂轮进行精密修整,使砂轮的圆度误差降低至3μm左右,满足纳米陶瓷超声ELID复合平面磨削加工要求。通过纳米陶瓷超声ELID复合平面磨削纳米陶瓷表面粗糙度试验,分析不同磨削参数、超声参数和ELID参数对表面粗糙度的影响状况。根据扫描电镜、白光干涉仪等测试技术,分析纳米陶瓷超声ELID复合平面磨削加工表面微观形貌、表面损伤的基本特征。试验研究得出,纳米陶瓷材料超声ELID复合平面磨削加工能够获得高质量的加工表面,表面粗糙度值低、表面微观形貌平整均匀、表面损伤少。研究表明,纳米陶瓷超声ELID复合平面磨削加工,既能发挥超声振动的精密高效磨削作用,又能达到ELID的超精密镜面磨削效果,氧化膜状态相对稳定、可控,可以实现纳米陶瓷等硬脆材料的高效镜面磨削加工。
庞浩[9]（2014）在《超声ELID复合加工电参数的研究》文中研究表明超声磨削技术是在磨削加工中引入超声振动,借助超声振动的作用去除工件上的被加工材料。主要优点是加工效率高,但声学系统振动稳定性难以得到保证,不能高效的获得粗糙度极低的表面。ELID磨削加工技术是利用砂轮磨削和在线修锐相结合的磨削技术,通过电解作用对金属基金刚石砂轮进行持续修锐,从而避免砂轮的钝化和堵塞现象,实现对硬脆材料的精密磨削,获得较高精度的加工表面,但是加工成本高、砂轮易堵塞、脱落的磨粒易擦伤工件。因此,为了获得既高效又有高精度的加工表面,本文对超声与ELID磨削两种工艺复合进行了研究。由于ELID磨削主要是氧化膜和其中包含的磨粒对工件的刮擦,其中对氧化膜的影响因素中最主要的因素为电参数,因此对电参数的研究就尤为重要。研究中选取的磨削方式为内圆磨削。由于砂轮直径相对外圆磨削,直径很小,不能实现边电解边磨削,所以,在试验过程中,采用把砂轮电解修锐后进行磨削,磨削一段时间把砂轮退出再进行电解,如此反复进行磨削的方法。本文用Labview对复合工艺中的电压电流进行了在线测量,更加准确的研究了电参数对砂轮的修锐,氧化膜的厚度及加工后的表面质量的影响。
肖强[10]（2013）在《SiC单晶片高效低损伤加工机理及试验研究》文中认为随着科学技术的发展,SiC单晶（SiC single crystal,简称SiC）成为重要的第三代半导体材料,由于其具有宽禁带、高击穿电场强度、高热导率、热稳定性好、高饱和漂移速度等特点,在高频、高温、抗辐射、大功率、光电子等方面优势明显,然而其特有晶体结构及高的材料硬度使其加工过程成为难点,突出表现为加工效率低、表面质量不稳定等问题,使得SiC单晶片的高效低损伤加工技术成为研究的焦点。本文在研究SiC单晶片材料去除机理的基础上,兼顾加工效率和表面质量,提出利用在线电解修整精密磨削技术（Electrolytic in-process dressing,简称ELID）高效低损伤精密加工SiC单晶片,通过理论与试验研究,获得高效低损伤的超精密加工工艺。ELID精密磨削技术是利用在线电解技术在砂轮表面形成氧化膜,实现砂轮在线修整,使砂轮磨粒始终保持锋利状态,从而实现加工对象的高效精密加工。同时,也对超声复合研磨SiC单晶片和该晶体的抛光工艺进行了讨论研究,这对于提高SiC单晶片加工技术和应用水平有重要的理论意义和实用价值。（1）基于氧化膜在SiC单晶片ELID磨削中的重要性,本文研究了在ELID磨削中氧化膜的形成规律,根据电化学基本原理,建立了砂轮表面氧化膜形成过程的模型,并对金刚石砂轮电解预修整过程中氧化膜的生长过程进行了仿真,对电压、占空比等电解参数对铸铁结合剂砂轮表面氧化膜形成特性的影响进行了研究,得到ELID磨削过程中铸铁结合剂金刚石砂轮表面氧化膜的生成规律及电解参数对氧化膜的影响规律。为了验证模型和仿真结果的正确性,采用与仿真过程同样的控制参数,对氧化膜的生长特性进行了试验研究,试验结果验证了氧化膜生长模型及电解参数的影响规律。（2）通过理论与材料划痕试验,研究SiC单晶片材料去除方式和ELID磨削SiC单晶片的材料去除机理,获取SiC单晶片磨削过程中材料由脆性去除模式向塑性去除模式转变的条件、材料去除机理和表面形成机理。通过试验研究表明,ELID磨削可以稳定实现材料的塑性域磨削,从而可以在提高加工效率的同时有效降低工件的磨削损伤。（3）针对ELID超精密磨削的特点,对ELID磨削热产生的机理进行了分析,建立了 ELID磨削热源模型和热量在工件、砂轮、电解液及磨屑间分配的模型并进行了数值计算。研究表明,ELID磨削热量主要由磨粒与工件的耕犁和摩擦作用产生,磨削热量在工件、砂轮、电解液间的分配是随磨削区内位置改变的分布函数,电解液和砂轮带走绝大部分的磨削热量,传递给SiC单晶片的热量只占全部热量的13%左右,对表面质量影响小。（4）本文开发了封闭式电解阴极,并以此为核心构建了 ELID磨削试验平台,包括磨床、铸铁基金刚石砂轮、电解装置、电源等部分。在此平台上本文进行了 SiC单晶片ELID磨削工艺试验,以SiC单晶片表面粗糙度、材料去除率与加工参数的关系为研究对象,研究了电解参数与工艺参数对SiC单晶片ELID磨削效果的影响,获得优化加工参数。（5）分析了普通研磨磨削原理,建立了普通磨削的材料去除模型,分析了超声复合研磨加工SiC单晶片材料的去除机理,在此基础上建立了超声复合研磨材料去除率模型,通过有限元方法对材料去除方式及应力进行了仿真,将普通研磨和超声波的复合研磨两种方法的去除效率和表面质量进行了试验对比。试验表明,超声波复合研磨后,表面质量有显着提高,加工效率明显优于普通研磨。
二、硬脆材料专用ELID磨削液的研制（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、硬脆材料专用ELID磨削液的研制（论文提纲范文）
（1）铝基复合材料专用ELID磨削液的开发（论文提纲范文）
| 1 铝基复合材料ELID磨削加工机理 |
| 2 铝基复合材料ELID磨削液的研制 |
| 2.1 理论及技术方案分析 |
| 2.2 磨削液配方选择 |
| 2.2.1 清洗性添加剂选择 |
| 2.2.2 润滑性添加剂选择 |
| 2.2.3 电解性添加剂和成膜添加剂选择 |
| 2.2.4 防锈防腐性添加剂选择 |
| 3 磨削液配方和技术指标 |
| 3.1 磨削液配方 |
| 3.2 磨削液主要技术指标 |
| 4 磨削液对比实验 |
| 4.1 实验条件及方法 |
| 4.2 实验结果 |
| 5 结语 |
（2）蓝宝石ELID磨削工艺实验研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 课题来源 |
| 1.2 研究背景及意义 |
| 1.3 ELID磨削技术基本原理 |
| 1.4 ELID磨削国内外研究现状 |
| 1.4.1 ELID磨削系统 |
| 1.4.2 ELID磨削电解氧化膜研究 |
| 1.4.3 ELID磨削工艺优化研究 |
| 1.4.4 蓝宝石晶向研究 |
| 1.5 研究内容 |
| 1.6 本章小结 |
| 第二章 ELID预修锐实验研究 |
| 2.1 氧化膜成膜理论 |
| 2.2 电解氧化膜的成膜分析 |
| 2.3 实验方案 |
| 2.4 实验装置 |
| 2.4.1 ELID电源 |
| 2.4.2 修整电极 |
| 2.4.3 高精度数控平面磨床 |
| 2.5 电参数对预修锐电流和时间的影响 |
| 2.5.1 预修锐电信号 |
| 2.5.2 电压对预修锐电流的影响 |
| 2.5.3 极间间隙对预修锐电流的影响 |
| 2.5.4 电解参数对预修锐时间的影响 |
| 2.6 电解参数对氧化膜成膜的影响 |
| 2.6.1 电解参数对氧化膜厚度的影响 |
| 2.6.2 电解参数对氧化膜粘附力的影响 |
| 2.6.3 氧化膜的孔隙率表征 |
| 2.7 本章小结 |
| 第三章 蓝宝石ELID动态磨削的实验研究 |
| 3.1 砂轮的整形与修锐 |
| 3.1.1 砂轮的整形 |
| 3.1.2 砂轮的预修锐 |
| 3.2 实验设计 |
| 3.2.1 实验材料与夹具 |
| 3.2.2 实验方案 |
| 3.2.3 实验测量装置 |
| 3.3 实验结果分析 |
| 3.3.1 磨削力分析 |
| 3.3.2 磨削表面粗糙度的影响分析 |
| 3.3.3 表面破碎率的影响分析 |
| 3.3.4 表面形貌分析 |
| 3.3.5 ELID磨削亚表面损伤情况 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 不同晶向的蓝宝石ELID磨削后表面形貌及损伤研究 |
| 4.1 蓝宝石晶体结构 |
| 4.2 蓝宝石晶向的差异 |
| 4.3 不同晶向蓝宝石 ELID 磨削实验 |
| 4.3.1 ELID磨削蓝宝石A面、C面的磨削力 |
| 4.3.2 ELID磨削蓝宝石A面、C面的表面粗糙度 |
| 4.3.3 ELID磨削蓝宝石A面、C面的表面形貌 |
| 4.3.4 ELID磨削蓝宝石A面、C面的亚表面损伤 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 总结与展望 |
| 5.1 总结 |
| 5.2 研究展望 |
| 参考文献 |
| 附录 A 攻读学位期间发表论文目录 |
| 致谢 |
（3）碳纳米管对多层钎焊砂轮电解修整磨削性能的影响研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 研究背景 |
| 1.2 在线电解修整(ELID)磨削研究现状 |
| 1.2.1 ELID磨削电解氧化膜研究现状 |
| 1.2.2 ELID磨削液研究现状 |
| 1.3 碳纳米管(CNTs)性能及其研究现状 |
| 1.4 超细晶硬质合金ELID磨削加工研究现状 |
| 1.5 课题来源及研究意义 |
| 1.5.1 课题来源 |
| 1.5.2 研究意义 |
| 1.6 主要研究内容 |
| 第2章 实验方案及设备 |
| 2.1 电解腐蚀理论基础 |
| 2.1.1 砂轮的阳极行为 |
| 2.1.2 电解氧化膜成膜分析 |
| 2.2 总体实验方案 |
| 2.3 实验材料与实验设备 |
| 2.3.1 实验材料 |
| 2.3.2 多层钎焊砂轮修锐装置 |
| 2.3.3 加工设备 |
| 2.3.4 测量设备 |
| 2.4 本章小结 |
| 第3章 含碳纳米管的电解修整氧化膜性能研究 |
| 3.1 多层钎焊砂轮动态电泳沉积 |
| 3.1.1 电泳沉积原理 |
| 3.1.2 碳纳米管的分散 |
| 3.1.3 碳纳米管的动态电泳沉积实验 |
| 3.2 含碳纳米管电解液的配制 |
| 3.3 含碳纳米管氧化膜性能研究 |
| 3.3.1 氧化膜电信号 |
| 3.3.2 氧化膜表面形貌 |
| 3.3.3 氧化膜厚度 |
| 3.3.4 氧化膜粘附强度 |
| 3.3.5 氧化膜物相分析 |
| 3.4 多层钎焊砂轮含碳纳米管电解氧化膜成膜机理 |
| 3.5 本章小结 |
| 第4章 不同氧化膜状态下的超细晶硬质合金磨削实验 |
| 4.1 多层钎焊砂轮的整形与修锐 |
| 4.1.1 电火花整形 |
| 4.1.2 电解预修锐 |
| 4.2 磨削力分析 |
| 4.3 磨削表面粗糙度分析 |
| 4.4 表面形貌分析 |
| 4.5 亚表面损伤情况 |
| 4.6 本章小结 |
| 第5章 总结与展望 |
| 5.1 总结 |
| 5.2 研究展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 附录 A 攻读硕士期间研究成果及科研工作 |
（4）基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削机理（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 字母注释表 |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究背景及意义 |
| 1.2 轴承沟道成形磨削加工研究现状 |
| 1.2.1 轴承沟道成形磨削 |
| 1.2.2 轴承沟道超精研 |
| 1.3 ELID磨削研究现状 |
| 1.3.1 ELID磨削机理 |
| 1.3.2 氧化膜的生成及作用 |
| 1.3.3 表面创成 |
| 1.3.4 工艺参数优化 |
| 1.4 问题的提出及本文拟开展的主要研究工作 |
| 1.4.1 问题的提出 |
| 1.4.2 本文拟开展的主要研究工作 |
| 1.4.3 研究方案 |
| 第二章 基于工件阴极的ELID成形磨削试验系统的建立 |
| 2.1 基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削氧化膜研究方法 |
| 2.1.1 基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削工艺 |
| 2.1.2 基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削氧化膜研究 |
| 2.1.3 氧化膜研究方法的可行性 |
| 2.2 直线沟道ELID成形磨削试验系统 |
| 2.2.1 直线沟道ELID成形磨削试验系统总体设计 |
| 2.2.2 直线沟道ELID成形磨削试验系统构成 |
| 2.3 轴承外圈沟道ELID成形磨削试验系统 |
| 2.3.1 轴承外圈沟道ELID成形磨削试验系统总体设计 |
| 2.3.2 轴承外圈沟道ELID成形磨削试验系统构成 |
| 2.4 本章小结 |
| 第三章 直线沟道ELID成形磨削氧化膜生成及状态研究 |
| 3.1 氧化膜的生成机理 |
| 3.2 基于工具阴极的直线沟道ELID成形磨削氧化膜生成及状态 |
| 3.2.1 基于工具阴极的直线沟道ELID成形磨削预修锐阶段氧化膜的生成 |
| 3.2.2 基于工具阴极的直线沟道ELID成形磨削阶段氧化膜状态试验研究 |
| 3.3 基于工件阴极的直线沟道ELID成形磨削电火花放电及氧化膜状态 |
| 3.3.1 基于工件阴极的直线沟道ELID成形磨削电火花放电 |
| 3.3.2 基于工件阴极的直线沟道ELID成形磨削预修锐阶段氧化膜的生成 |
| 3.3.3 基于工件阴极的直线沟道ELID成形磨削阶段氧化膜状态试验研究 |
| 3.3.4 基于工具阴极和工件阴极的直线沟道ELID成形磨削氧化膜对比 |
| 3.4 基于工件阴极的直线沟道ELID成形磨削氧化膜对磨削质量的影响 |
| 3.4.1 氧化膜对表面粗糙度及波纹度的影响 |
| 3.4.2 氧化膜对磨削力的影响 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削氧化膜生成及磨削试验研究 |
| 4.1 基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削预修锐阶段氧化膜的生成 |
| 4.2 基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削试验研究 |
| 4.2.1 基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削试验设计 |
| 4.2.2 磨削力的试验结果及分析 |
| 4.2.3 表面粗糙度及波纹度的试验结果与分析 |
| 4.3 本章小结 |
| 第五章 基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削表面粗糙度建模 |
| 5.1 磨削表面粗糙度的形成过程 |
| 5.2 磨削表面粗糙度建模 |
| 5.2.1 表面粗糙度的表征 |
| 5.2.2 砂轮表面磨粒分布对表面粗糙度的影响 |
| 5.2.3 塑性侧流对磨削表面粗糙度的影响 |
| 5.2.4 氧化膜对表面粗糙度的影响 |
| 5.2.5 表面粗糙度模型的建立 |
| 5.3 基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削表面粗糙度试验 |
| 5.3.1 试验设计 |
| 5.3.2 ELID成形磨削表面粗糙度模型 |
| 5.3.3 ELID成形磨削表面粗糙度模型的验证 |
| 5.4 本章小结 |
| 第六章 基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削工艺参数优化 |
| 6.1 试验设计 |
| 6.1.1 正交试验设计 |
| 6.1.2 试验设备 |
| 6.2 试验结果 |
| 6.2.1 粗糙度试验结果 |
| 6.2.2 波纹度的试验结果 |
| 6.3 磨削工艺参数优化 |
| 6.3.1 表面粗糙度极差分析 |
| 6.3.2 波纹度极差分析 |
| 6.4 磨削工艺参数优化结果实验验证 |
| 6.5 本章小结 |
| 第七章 全文总结与展望 |
| 7.1 全文主要结论 |
| 7.2 创新点 |
| 7.3 研究展望 |
| 参考文献 |
| 附录 |
| 发表论文和参加科研情况说明 |
| 致谢 |
（5）CoCrMo合金ELID磨削及其耐磨耐腐蚀性研究（论文提纲范文）
| 致谢 |
| 摘要 |
| abstract |
| 1 引言 |
| 1.1 课题研究背景 |
| 1.2 国内外研究进展及应用 |
| 1.2.1 CoCrMo合金研究进展 |
| 1.2.2 CoCrMo合金的应用 |
| 1.2.3 ELID磨削技术研究进展 |
| 1.3 研究内容 |
| 1.4 技术路线 |
| 1.5 小结 |
| 2 ELID砂轮氧化膜复合磨粒形成机理及微观结构 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 ELID砂轮氧化膜的作用 |
| 2.3 ELID砂轮表面氧化膜的形成原理 |
| 2.3.1 砂轮表面电化学反应过程 |
| 2.3.2 ELID砂轮氧化膜的α-Fe_2O_3成分转化预测 |
| 2.4 ELID砂轮表面氧化膜的复合磨粒模型 |
| 2.5 ELID砂轮表面氧化膜中复合磨粒的实验 |
| 2.5.1 实验设备仪器与参数 |
| 2.5.2 ELID砂轮氧化膜微观形貌的SEM、TEM研究 |
| 2.5.3 ELID砂轮氧化膜成分的XRD、XPS研究 |
| 2.6 本章小结 |
| 3 CoCrMo合金ELID磨削力研究 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 磨削力的理论计算 |
| 3.3 磨削力的试验研究 |
| 3.3.1 试验仪器设备与试验方法 |
| 3.3.2 试验准备工作 |
| 3.3.3 磨削力测量及数据收集 |
| 3.3.4 实验结果及分析 |
| 3.4 小结 |
| 4 CoCrMo合金ELID磨削表面质量试验研究 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 CoCrMo合金ELID磨削表面粗糙度测量与分析 |
| 4.2.1 试验方案 |
| 4.2.2 试验结果与分析 |
| 4.3 CoCrMo合金ELID磨削的表面微观形貌观测分析 |
| 4.3.1 试验方案 |
| 4.3.2 试验结果与分析 |
| 4.4 本章小结 |
| 5 CoCrMo合金ELID磨削摩擦磨损性能研究 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 摩擦磨损试验 |
| 5.2.1 试验方案 |
| 5.2.2 试验结果和分析 |
| 5.3 小结 |
| 6 CoCrMo合金ELID磨削耐腐蚀性能研究 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 CoCrMoELID磨削表面钝化层结构及化学成分研究分析 |
| 6.2.1 表面观测以及能谱分析 |
| 6.2.2 钝化层表面成分分析 |
| 6.3 本章小结 |
| 7 结论与展望 |
| 7.1 结论 |
| 7.2 创新点 |
| 7.3 展望 |
| 参考文献 |
| 作者简历 |
| 学位论文数据集 |
（6）轴承钢专用ELID磨削液的开发（论文提纲范文）
| 1 ELID磨削原理 |
| 2 轴承钢ELID磨削液的研制 |
| 2.1 理论及技术方案分析 |
| 2.2 磨削液配方 |
| 2.2.1 油性、极压添加剂的选择 |
| 2.2.2 无机盐的选择 |
| 2.2.3 防锈剂的选择 |
| 3 配方的确定 |
| 4 试验 |
| 4.1 磨削液主要技术指标 |
| 4.2 试验条件及方法 |
| 4.3 试验结果 |
| 5 结论 |
（7）在线电解修整磨削液研究现状及其展望（论文提纲范文）
| 0 引言 |
| 1 ELID磨削液成分及配比分析 |
| 1.1 ELID磨削液基本成分及作用 |
| 1.2 ELID磨削液成分配比分析 |
| 2 磨削液对氧化膜的影响 |
| 2.1 ELID镜面磨削中氧化膜的形成与控制 |
| 2.2 ELID磨削液对氧化膜的影响 |
| 3 ELID磨削液的改进 |
| 4 研究展望 |
（8）纳米陶瓷超声ELID复合磨削加工机理及其表面质量研究（论文提纲范文）
| 致谢 |
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 1 绪论 |
| 1.1 论文的课题来源和研究意义 |
| 1.2 纳米陶瓷材料的发展及应用 |
| 1.2.1 陶瓷材料的发展 |
| 1.2.2 纳米复相陶瓷的研究 |
| 1.2.3 纳米复相陶瓷材料加工技术研究现状 |
| 1.3 ELID磨削技术研究 |
| 1.3.1 ELID磨削加工机理 |
| 1.3.2 ELID磨削加工系统组成 |
| 1.3.3 ELID磨削基本原理 |
| 1.3.4 ELID磨削的适用范围及其优点 |
| 1.3.5 ELID磨削技术的研究发展概况 |
| 1.4 硬脆材料超声振动磨削技术研究 |
| 1.4.1 超声振动磨削系统的组成 |
| 1.4.2 超声加工的基本原理 |
| 1.4.3 超声加工的主要特点 |
| 1.4.4 硬脆材料超声振动磨削技术研究现状 |
| 1.5 超声ELID复合磨削技术的实现 |
| 1.6 本文主要研究内容及技术路线 |
| 1.6.1 主要研究内容 |
| 1.6.2 本文技术路线 |
| 2 超声ELID复合平面磨削系统构建与声学振动特性 |
| 2.1 超声ELID复合平面磨削系统 |
| 2.1.1 超声ELID复合平面磨削加工技术 |
| 2.1.2 超声ELID复合平面磨削加工技术的优点 |
| 2.1.3 超声ELID复合平面磨削系统搭建 |
| 2.2 声学系统振动特性研究 |
| 2.2.1 复合平面磨削系统超声振动阻抗分析 |
| 2.2.2 带法兰盘与试件托板的组合变幅杆设计 |
| 2.2.3 声学系统有限元分析 |
| 2.2.4 声学系统有限元修整 |
| 2.2.5 复合平面磨削系统超声振动效果测试 |
| 2.3 本章小结 |
| 3 纳米陶瓷超声ELID复合磨削加工氧化膜状态 |
| 3.1 超声ELID复合磨削过程中氧化膜的作用及生长变化 |
| 3.1.1 氧化膜的作用 |
| 3.1.2 氧化膜状态的影响因素 |
| 3.1.3 氧化膜的生成过程 |
| 3.1.4 氧化膜的变化规律 |
| 3.2 超声ELID复合磨削过程中的氧化膜理论模型 |
| 3.2.1 氧化膜生成模型 |
| 3.2.2 氧化膜去除模型 |
| 3.2.3 复合磨削过程中氧化膜实际厚度模型 |
| 3.3 超声ELID复合磨削过程中的氧化膜厚度模型仿真 |
| 3.4 超声ELID复合磨削过程中的氧化膜状态 |
| 3.4.1 ELID磨削加工氧化膜与极间电流 |
| 3.4.2 复合磨削加工中氧化膜的强度与磨削力 |
| 3.4.3 复合磨削加工中氧化膜的厚度与极间电流 |
| 3.5 超声ELID复合磨削过程中的氧化膜状态试验 |
| 3.5.1 试验条件 |
| 3.5.2 信息采集系统 |
| 3.6 超声ELID复合磨削过程中的氧化膜状态信号表征 |
| 3.6.1 复合磨削加工中氧化膜的磨削力信号表征 |
| 3.6.2 复合磨削加工中氧化膜的电流信号表征 |
| 3.7 本章小结 |
| 4 纳米陶瓷超声ELID复合磨削加工材料去除机理 |
| 4.1 复合磨削加工材料去除机理 |
| 4.1.1 陶瓷材料砂轮磨粒压痕去除过程 |
| 4.1.2 复合磨削加工单颗磨粒临界切削深度 |
| 4.1.3 复合磨削加工脆塑转变临界条件 |
| 4.2 复合磨削加工材料去除率模型 |
| 4.2.1 普通磨削加工单颗磨粒与工件材料的接触面积 |
| 4.2.2 超声振动磨削加工单颗磨粒去除材料体积 |
| 4.2.3 复合磨削加工材料去除量模型 |
| 4.2.4 复合磨削加工材料去除体积数学解析模型预测仿真 |
| 4.3 超声ELID复合磨削高效去除率试验研究 |
| 4.3.1 试验条件 |
| 4.3.2 工作台速度对工件材料去除率的影响 |
| 4.3.3 磨削深度对工件材料去除率的影响 |
| 4.4 超声ELID复合平面磨削表面创成机理 |
| 4.4.1 工件质点的运动轨迹分析 |
| 4.4.2 单颗磨粒的运动轨迹方程 |
| 4.4.3 超声ELID复合平面磨削表面创成机理分析 |
| 4.5 超声ELID复合平面磨削表面创成机理试验 |
| 4.5.1 试验条件 |
| 4.5.2 试验结果及其分析 |
| 4.6 本章小结 |
| 5 纳米陶瓷超声ELID复合磨削加工的磨削力 |
| 5.1 超声ELID复合磨削加工磨削力理论模型 |
| 5.1.1 超声振动磨削加工中由切削变形引起的磨削力计算 |
| 5.1.2 超声振动引起的冲击力计算 |
| 5.1.3 超声ELID复合磨削加工的磨削力数学模型 |
| 5.1.4 关于超声ELID复合磨削加工的磨削力数学模型的分析 |
| 5.2 超声ELID复合磨削加工的磨削力模型仿真 |
| 5.3 超声ELID复合磨削加工的磨削力试验研究 |
| 5.3.1 试验条件 |
| 5 3.2 磨削深度对复合磨削加工磨削力的影响 |
| 5.3.3 砂轮线速度对复合磨削加工磨削力的影响 |
| 5.3.4 工作台速度对复合磨削加工磨削力的影响 |
| 5.3.5 超声振动频率对复合磨削加工磨削力的影响 |
| 5.3.6 ELID电源电压对复合磨削加工磨削力的影响 |
| 5.3.7 微切深条件下复合磨削加工磨削力的变化 |
| 5.4 本章小结 |
| 6 纳米陶瓷超声ELID复合磨削加工表面质量 |
| 6.1 铸铁结合剂金刚石砂轮电火花修整 |
| 6.1.1 金属结合剂砂轮的修整方法 |
| 6.1.2 金属结合剂砂轮的电火花修整原理 |
| 6.1.3 电火花修整放电参数的分析与选择 |
| 6.1.4 金属结合剂砂轮电火花修整试验 |
| 6.2 纳米陶瓷超声ELID复合磨削表面粗糙度试验分析 |
| 6.2.1 试验条件 |
| 6.2.2 磨削深度对复合磨削加工表面粗糙度的影响 |
| 6.2.3 工作台速度对复合磨削加工表面粗糙度的影响 |
| 6.2.4 ELID电源参数对复合磨削加工表面粗糙度的影响 |
| 6.2.5 引入超声振动对ELID磨削加工表面微观轮廓的影响 |
| 6.3 纳米陶瓷超声ELID复合磨削表面形貌试验分析 |
| 6.3.1 试验条件 |
| 6.3.2 磨削方式对陶瓷材料磨削加工表面微观形貌的影响 |
| 6.3.3 磨削深度对复合磨削加工表面微观形貌的影响 |
| 6.3.4 超声振动频率对复合磨削加工表面微观形貌的影响 |
| 6.3.5 工件材料对复合磨削加工表面微观形貌的影响 |
| 6.3.6 纳米陶瓷材料超声ELID复合磨削加工表面损伤分析 |
| 6.4 本章小结 |
| 7 结论和展望 |
| 7.1 结论 |
| 7.2 创新点 |
| 7.3 展望 |
| 参考文献 |
| 作者简历 |
| 学位论文数据集 |
（9）超声ELID复合加工电参数的研究（论文提纲范文）
| 致谢 |
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 引言 |
| 1.1 精密与超精密加工技术 |
| 1.1.1 精密与超精密加工技术概述 |
| 1.1.2 超精密加工技术的研究领域 |
| 1.1.3 超精密加工技术的研究内容 |
| 1.1.4 超精密镜面磨削技术 |
| 1.2 脆硬材料的复合超精密加工技术 |
| 1.2.1 硬脆材料超精密加工技术 |
| 1.3 超声磨削概述 |
| 1.3.1 超声加工原理 |
| 1.3.2 超声波加工的特点 |
| 1.3.3 超声国内研究现状 |
| 1.3.4 超声磨削国外研究现状 |
| 1.4 ELID磨削概述 |
| 1.4.1 ELID磨削原理 |
| 1.4.2 磨削加工的特点 |
| 1.4.3 ELID磨削的优点[28,29] |
| 1.4.4 ELID磨削国内研究现状 |
| 1.4.5 ELID磨削国外研究现状 |
| 1.5 本课题提出和研究意义 |
| 1.6 本课题研究内容 |
| 2 占空比对超声ELID复合磨削的影响 |
| 2.1 超声ELID复合磨削加工原理 |
| 2.2 超声和ELID磨削所需设备 |
| 2.2.1 超声加工所用设备 |
| 2.2.2 ELID磨削专用设备 |
| 2.3 信号的采集与处理 |
| 2.3.1 基于Labview的数据采集与输出控制程序 |
| 2.4 超声振动系统的阻抗和振幅 |
| 2.4.1 振动系统阻抗分析 |
| 2.4.2 超声振动系统的振幅 |
| 2.5 复合内圆磨削所采用的方法及所需做的准备 |
| 2.6 占空比对超声ELID复合磨削的影响 |
| 2.7 占空比对氧化膜厚度的影响 |
| 2.8 氧化膜的生成机理分析及组成 |
| 2.8.1 氧化膜的作用 |
| 2.9 超声振动在复合磨削中的作用 |
| 2.10 占空比对表面质量的影响 |
| 2.11 结论 |
| 3 电压对超声ELID复合磨削的影响 |
| 3.1 电源的性能要求 |
| 3.2 开关器件的选择 |
| 3.3 电源的选择 |
| 3.4 电解电压对超声ELID复合磨削的影响 |
| 3.5 电解电压对氧化膜厚度的影响 |
| 3.6 电解电压对表面质量的影响 |
| 3.7 结论 |
| 4 电极间隙对超声ELID复合磨削的影响 |
| 4.1 电解装置在设计中应注意事项 |
| 4.2 电极的安装 |
| 4.2.1 阳极的安装 |
| 4.2.2 阴极的安装 |
| 4.3 磨削液的供给与输送 |
| 4.4 电极间隙对超声ELID复合磨削的影响 |
| 4.5 电极间隙对氧化膜厚度的影响 |
| 4.6 电极间隙对表面质量的影响 |
| 4.7 结论 |
| 5 结论与展望 |
| 5.1 结论 |
| 5.2 展望 |
| 参考文献 |
| 作者简历 |
| 学位论文数据集 |
（10）SiC单晶片高效低损伤加工机理及试验研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1. 绪论 |
| 1.1 SiC单晶的制备、性质和应用领域 |
| 1.1.1 SiC单晶材料制备 |
| 1.1.2 SiC单晶材料的性质 |
| 1.1.3 SiC单晶材料应用 |
| 1.2 SiC单晶材料机械加工性能 |
| 1.2.1 SiC单晶的晶体结构 |
| 1.2.2 SiC单晶材料加工性能 |
| 1.2.3 SiC单晶片应用的技术要求 |
| 1.3 SiC单晶片传统加工工艺 |
| 1.3.1 线锯切割 |
| 1.3.2 研磨 |
| 1.3.3 抛光 |
| 1.4 SiC单晶片表面加工技术及晶片的加工工艺研究现状 |
| 1.4.1 国内外SiC单晶片精密加工发展 |
| 1.4.2 存在的问题分析 |
| 1.5 SiC单晶片高效低损伤加工技术 |
| 1.5.1 ELID超精密磨削技术 |
| 1.5.2 超声复合研磨技术 |
| 1.5.3 化学机械抛光(CMP)技术 |
| 1.6 课题的来源、研究目的与意义 |
| 1.7 研究内容 |
| 2. SiC单晶片ELID磨削氧化膜特性研究 |
| 2.1 ELID磨削电解修锐原理 |
| 2.1.1 ELID磨削电解修锐原理 |
| 2.1.2 ELID精密磨削的特点 |
| 2.2 氧化膜对SiC单晶片ELID磨削作用 |
| 2.3 ELID磨削中氧化膜生成机理及状态表征 |
| 2.3.1 氧化膜的生成机理 |
| 2.3.2 氧化膜状态的表征与识别 |
| 2.4 氧化膜状态特性的建模与仿真分析 |
| 2.4.1 氧化膜生成状态影响因素的建模 |
| 2.4.2 氧化膜生成状态影响因素的仿真 |
| 2.5 氧化膜生成状态影响因素的试验研究 |
| 2.5.1 试验设备 |
| 2.5.2 试验设计与方法 |
| 2.5.3 试验结果与分析 |
| 2.6 氧化膜状态及电解参数对SiC单晶片磨削效果影响 |
| 2.6.1 材料去除率数学模型 |
| 2.6.2 SiC单晶ELID磨削过程氧化膜及电解参数控制 |
| 2.7 本章小结 |
| 3. SiC单晶片ELID磨削机理及损伤检测技术研究 |
| 3.1 SiC单晶片材料去除机理 |
| 3.1.1 SiC单晶片材料去除方式 |
| 3.1.2 SiC单晶片材料去除的脆一塑转变临界条件 |
| 3.1.3 SiC单晶片材料的划痕试验 |
| 3.2 SiC单晶片ELID磨削机理 |
| 3.2.1 SiC单晶片磨削材料去除机理 |
| 3.2.2 SiC单晶片实现塑性域加工的理论分析 |
| 3.2.3 SiC单晶片ELID磨削材料去除试验研究 |
| 3.3 SiC单晶片ELID磨削热研究 |
| 3.3.1 ELID磨削热源模型 |
| 3.3.2 热量在磨削系统中的分配 |
| 3.3.3 热流分配函数的计算 |
| 3.4 SiC单晶片加工表面/亚表面损伤检测与分析 |
| 3.4.1 表面/亚表面形貌检测设备 |
| 3.4.2 SiC单晶片表面损伤分析 |
| 3.4.3 SiC单晶片亚表面损伤检测分析 |
| 3.4.4 SiC单晶片表面损伤层的腐蚀工艺 |
| 3.4.5 SiC单晶片亚表面损伤截面显微测试 |
| 3.4.6 SiC单晶片亚表面逐层化学机械抛光检测法测试 |
| 3.5 本章小结 |
| 4. SiC单晶片ELID磨削工艺研究 |
| 4.1 ELID试验系统及电火花整形 |
| 4.1.1 ELID试验系统开发 |
| 4.1.2 铁基金刚石砂轮的电火花整形 |
| 4.2 SiC单晶片ELID磨削电解参数对磨削过程影响与选择试验研究 |
| 4.2.1 试验装置 |
| 4.2.2 试验设计 |
| 4.2.3 试验结果分析 |
| 4.2.4 砂轮不同粒度条件下电解参数影响 |
| 4.3 ELID磨削表面粗糙度、磨削效率与工艺过程参数选择试验 |
| 4.3.1 砂轮转速对SiC单晶片表面粗糙度的影响 |
| 4.3.2 磨削深度对SiC单晶片表面粗糙度及材料去除率影响 |
| 4.3.3 工作台速度对SiC单晶片表面粗糙度与材料去除率影响 |
| 4.3.4 SiC单晶片ELID磨削工艺优化 |
| 4.4 SiC单晶片ELID磨削与普通磨削对比试验 |
| 4.4.1 试验参数与方法 |
| 4.4.2 SiC单晶片ELID磨削与普通磨削磨削力对比 |
| 4.4.3 SiC单晶片ELID磨削与普通磨削表面粗糙度对比 |
| 4.4.4 SiC单晶片ELID磨削与普通磨削材料去除率对比 |
| 4.5 SiC单晶片ELID磨削与普通研磨对比研究 |
| 4.5.1 SiC单晶片研磨试验内容与方案 |
| 4.5.2 试验步骤 |
| 4.5.3 试验结果分析 |
| 4.6 本章小结 |
| 5. SiC单晶片高效研抛精密加工理论与工艺研究 |
| 5.1 SiC单晶片研磨材料去除模型 |
| 5.1.1 SiC单晶片研磨原理 |
| 5.1.2 研磨盘表面粗糙度 |
| 5.1.3 SiC单晶片、磨粒和研磨盘接触处变形分析 |
| 5.1.4 单颗磨粒材料去除率数学模型 |
| 5.1.5 SiC单晶片材料去除率模型 |
| 5.2. SiC单晶片研磨材料去除率仿真与试验研究 |
| 5.2.1 SiC单晶片研磨材料去除率仿真 |
| 5.3 SiC单晶片材料超声波研磨去除机理 |
| 5.3.1 SiC单晶片材料超声波研磨去除机理 |
| 5.3.2 SiC单晶片超声波研磨表面粗糙度、材料去除率特性分析 |
| 5.4 SiC单晶片材料超声波研磨去除模型 |
| 5.4.1 SiC单晶片材料超声波研磨模型分析 |
| 5.4.2 SiC单晶片超声波研磨单颗磨粒去除模型建立 |
| 5.5 SiC单晶片超声波研磨有限元分析 |
| 5.5.1 几何模型及单元划分 |
| 5.5.2 应力分析与裂纹的分析 |
| 5.6 SiC单晶片超声波研磨工艺试验 |
| 5.6.1 试验设备与方法 |
| 5.6.2 试验结果与讨论 |
| 5.7 SiC单晶片抛光工艺 |
| 5.7.1 SiC单晶片机械抛光(MP)工艺试验 |
| 5.7.2 SiC单晶片机械抛光(MP)测试及分析 |
| 5.7.3 SiC单晶片化学机械抛光(CMP)工艺试验 |
| 5.7.4 SiC单晶片化学机械抛光(CMP)的测试及分析 |
| 5.8 本章小结 |
| 6. 结论与展望 |
| 6.1 研究结论 |
| 6.2 发展与展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 在校学习期间所发表的论文及参与项目 |
四、硬脆材料专用ELID磨削液的研制（论文参考文献）
- [1]铝基复合材料专用ELID磨削液的开发[J]. 关佳亮,张龙月,杨洋,刘书君. 制造技术与机床, 2020(08)
- [2]蓝宝石ELID磨削工艺实验研究[D]. 罗晔. 湖南科技大学, 2020(06)
- [3]碳纳米管对多层钎焊砂轮电解修整磨削性能的影响研究[D]. 欧阳志勇. 湖南科技大学, 2019(05)
- [4]基于工件阴极的轴承外圈沟道ELID成形磨削机理[D]. 王志强. 天津大学, 2019(06)
- [5]CoCrMo合金ELID磨削及其耐磨耐腐蚀性研究[D]. 江澄冉. 河南理工大学, 2018(01)
- [6]轴承钢专用ELID磨削液的开发[J]. 关佳亮,孙晓楠,路文文,戚泽海. 轴承, 2017(09)
- [7]在线电解修整磨削液研究现状及其展望[J]. 伍俏平,王煜,瞿为,邓朝晖. 中国机械工程, 2017(09)
- [8]纳米陶瓷超声ELID复合磨削加工机理及其表面质量研究[D]. 邵水军. 河南理工大学, 2016(07)
- [9]超声ELID复合加工电参数的研究[D]. 庞浩. 河南理工大学, 2014(06)
- [10]SiC单晶片高效低损伤加工机理及试验研究[D]. 肖强. 西安理工大学, 2013(01)